產品表面外觀檢測檢查：產品外觀的不良缺陷、瑕疵、芯片檢查、wafer表面品質污點
EKT-VT-880型號設備waferAOI技術參數 Technical Specifications
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檢測能力 |
適用制程 |
晶圓片產品外觀不良缺陷/產品不良瑕疵的檢測 |
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編程模式 |
手動編寫、自動編寫、CAD數據導入自動對應元件庫 |
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檢測類型 |
晶圓片產品：凹洞、接觸面殘、接觸面殘氧、異物附著、表面污漬殘留等表面不良 |
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產品表面外觀檢測檢查：產品外觀的不良缺陷、瑕疵、芯片檢查、wafer表面品質污點 |
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計算方法 |
機器自動學習、彩色運算、顏色提取、灰階運算、圖像對比等等 |
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檢測模式 |
覆蓋整個晶圓片產品的優化檢測技術，和多mark，含Bad mark功能 |
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SPC統計功能 |
全程記錄測試數據并進行統計和分析，任何區域都可查看生產狀況和品質分析 |
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最小零件 |
60mil |
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光學配置 |
定制相機 |
定制工業數字高清相機 500萬相素，全局曝光 CMOS 500萬像素分辨率，像源尺寸：4.8 相機靶面：1寸,可選配遠心鏡頭 |
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鏡頭分辨率 |
8um/10um/15um/18um/20um/25um，特殊應用時可訂制 |
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光源 |
屬于定制光源，環形立體多通道彩光，視應用選擇RGB/RGBW/RGBR/RWBR |
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計算機 |
CPU |
E3.3.40GHZ |
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RAM |
16GB |
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HDD |
1TB 機械硬盤 |
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OS |
Win 7.1 64bit |
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Monitor |
22寸，16:10 |
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機械系統 |
運送和檢測方式 |
人工取放晶圓片產品， Y伺服電機移動PCB， X伺服電機驅動相機取圖 |
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產品尺寸 |
20*20mm(Min)～450*330mm(Max)， 特殊應用時可訂制 |
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產品厚度 |
0.3～5.0mm |
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產品重量 |
Max：3KG |
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產品的邊 |
3mm，特殊應用時可訂制 |
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產品彎曲度 |
＜5mm 或 PCB對角線長度的3% |
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產品零件高度 |
Top：35mm，Bottom：75mm。可調節，特殊應用時可訂制 |
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XY 驅動系統 |
AC伺服電機，精密研磨滾珠絲桿 |
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XY 移動速度 |
Max：830mm/s |
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XY 定位精度 |
≦8um |
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整機參數 |
設備外形尺寸 |
L1200 * W900 * H1500 mm |
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電源 |
AC220V，50/60Hz，1.2KW |
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離地高度 |
820±20mm |
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設備重量 |
420KG |
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前后設備通訊 |
-- |
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氣壓要求 |
不需要 |
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設備安規 |
符合CE安全標準 |
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環境溫濕度 |
10～35℃，35～80％ RH（無結露） |
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三、 EKT-VT-880型號主要配置清單 |
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品 名 |
規 格 |
品 牌 |
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研磨滾珠絲桿 |
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上銀 |
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直線滑軌 |
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上銀 |
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固定側支撐座 |
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TGB |
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支撐側支撐座 |
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TGB |
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伺服驅動器 |
MR-E20A/40A |
三菱 |
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伺服電機 |
HF-KN2J-100 |
三菱 |
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數字相機 |
5.0Mega |
AOI定制相機 |
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鏡頭 |
工業FA |
日本米思米 |
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千兆網卡 |
PRO/1000 GT |
Intel |
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運動控制卡 |
PCI-9014 |
升立德 |
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開關電源 |
NES-35-24 |
明緯 |
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開關電源 |
NES-35-12 |
明緯 |
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萬能轉換開關 |
SZW26-20/2 380V20A 65MM |
西門子 |
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三芯插頭 |
10A 250V |
公牛 |
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插座 |
萬用 三位 |
公牛 |
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光電感應器 |
EE-SX671A |
歐姆龍 |
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光電感應器 |
EE-SX671 |
歐姆龍 |
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CPU |
E3.3.40GHZ |
Intel |
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CPU散熱器 |
銅芯 |
九州風神 |
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主板 |
P8H81-PLUS (SOCKET 1150) |
華碩 |
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內存 |
16.0GB |
金士頓 |
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機械硬盤 |
1TB WDC WD10EZEX(SATA) |
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顯示器 |
22寸16:10 |
飛利浦 |
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鍵盤鼠標 |
K120 |
羅技 |
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電源 |
350W+ |
長城 |
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